件；③云计算与移动互联网软件；④面向行业信息化应用系统（不包括因企业自身发展需要而开发的信息化应用系统）。（2）微电子技术：①半导体微细加工、芯片制备等集成电路设备；②半导体设备用高纯碳化硅涂层零部件、高精密陶瓷零部件、集成电路及平板显示用高精度石英掩膜基版、ITO靶材等集成电路材料；③Flip C
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